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会社概要

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社名: 株式会社セルバック

代表者: 代表取締役 松原和夫(和田和夫)

設立: 1989年4月

事業内容
半導体製造装置に関する、製造及び営業販売

開発センター
〒601-8188
京都府京都市南区上鳥羽南中ノ坪町19
TEL:075-661-2710  FAX:075-661-2539

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会社沿革

■1989年 平成元年
松原和夫 京都市南区中久世にて個人創業

■1993年 平成5年
岩盤掘削シールドマシン開発

■1994年 平成6年
LCDプローバー量産

■1996年 平成8年
RFドライエッチングを開発

■2000年 平成12年
ICP-CVDを開発

■2001年 平成13年
カーボンチューブ用のCVDプロセスを確立

■2003年 平成15年
有機EL用 370×470 ICP-CVDを開発

■2004年 平成16年
LCD検査装置セミオートマチックSP8Aを開発

■2006年 平成18年
Cu用CVDを開発

■2008年 平成20年
業界初 ICP-CVD ロールtoロール(ウェブ、巻取り)装置を開発

■2017年 平成29年
常温接合装置を開発

■Trade Name SELVAC CORPORATION

■CEO Kazuo,Matsubara(Kazuo Wada)

■Establishment April 1989

■Content of Business
Manufacturing,and,sellinganufacturing-system for semiconductor.

■R&D Center
19,Nakanotsubocho,Kamitobaminami, Minamiku, Kyoto, 601-8188 Japan
TEL:81-75-661-2710FAX : 81-75-661-2539

☛Access MapOur History

■1989
Kazuo Matsubara starts initial foundation at Nakakuze in Kyoto.

■1993
Shieled Machine is developed.

■1994
The demand for LCD prober increases.

■1996
RF Dry Etching is developed.

■2000
ICP-CVD is developed.

■2001
New type of ICP-CVD is currently been developing.

■2003
Developed 370 × 470 ICP-CVD for organic EL

■2004
Development of LCD inspection system semi-automatic SP8A

■2006
Cu-CVD has been developed and completed.

■2008 Heisei 20
Industry’s first ICP-CVD roll to roll (web,winding) device developed

■2017 Heisei 29
Development of room temperature bonding equipment

主要取引先

キヤノン株式会社
株式会社サムスン日本研究所
信越化学工業株式会社
セイコーエプソン株式会社
ソニー株式会社
株式会社デンソー
東京エレクトロン株式会社
株式会社東芝
東芝メモリ株式会社
トヨタ自動車株式会社
株式会社ニコン
パナソニック株式会社
株式会社日立製作所
日東電工株式会社
富士フィルム株式会社
三菱化学株式会社
宇宙航空開発機構(JAXA)
産業技術研究所
LG Display Co., Ltd.

Our Customer

Canon Inc
Samsung Electronics Co., Ltd.
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Seiko Epson Corporation
Sony Corporation
Denso Corporation
Tokyo Electron Limited 
Toshiba Corporation
Toshiba Memory Corporation
Toyota Motor Corporation
Nikon Corporation 
Panasonic Corporation
Hitachi, Ltd. 
Nitto Denko Corporation 
Fuji Film Co., Ltd.
Mitsubishi Chemical Corporation
Aerospace Exploration Agency
Industrial Technology Institute
LG Display Co., Ltd. 

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