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MERCURY

ロールtoロールCVD(Roll to Roll CVD)

業界初のプラズマCVDのロールtoロール装置。
ICPプラズマ方式は、加熱機構を必要としない為、基材からのアウトガス影響、脱ガス処理なども行わずにデポジションする事が可能です。
防着機構を装着で、長時間の連続運転も可能です。

Industry's first plasma CVD roll-to-roll machine
Since the ICP plasma method does not require a heating mechanism, it is possible to deposit without effecting outgas from the base material and degassing treatment.
With the anti-adhesion mechanism installed, continuous operation for a long time is also possible.

高密度プラズマCVD

ロールフィルム対応、低温成膜

High density plasma CVD

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