Semiconductor Solutions

有機EL(Organic electroluminescence)

有機EL、MEMS、パワーデバイス、フィルターetcの熱に敏感なデバイスに対し、低温で緻密な膜を成膜でき、多種の基板に対応可能なICP-CVD。
6角クラスターを備え、多数チャンバーの連結も可能。

For heat sensitive devices such as organic EL, MEMS, power devices, filters etc., it is possible to form a dense film at low temperature, equipped with an ICP-CVD hexagonal cluster that can support various substrates, and it is also possible to connect multiple chambers.

高密度プラズマCVD

ガラス、半導体ウエハ対応、低温成膜

High density plasma CVD

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