Semiconductor Solutions

PEGASUS-FP

フラットパネルディスプレイ(Flat panel display)

有機EL,液晶などの大型ガラス基板に対応した、大型ICP-CVD装置。

大面積化が難しいとされる誘導結合型高密度プラズマを独自のコイル設計で可能とし、ガラス以外の基材のデポジションも可能な装置です。

Large ICP-CVD equipment for large glass substrates such as organic EL and liquid crystal

It enables inductively coupled high-density plasma, which is said to be difficult to increase in area, with its own coil design,This equipment is also capable of depositing substrates other than glass.

G4.5対応、低温成膜

High density plasma CVD

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