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PEGASUS-MULTI

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多機能型CVD(Multi-function type CVD)

φ6インチ×25枚、φ8インチ×16枚が一括に処理できるICP-CVD。
1µm以上の厚膜のデポジションは処理時間が長くなる為、大量一括処理が効果的。

ICP-CVD that can process φ6 inch × 25 pieces and φ8 inch × 16 pieces at once
Since the processing time is long for deposition of thick film of 1 µm or more, large-scale batch processing is effectiv

 

ガラス、半導体ウェハ対応、低温成膜

High density plasma CVD

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