Semiconductor Solutions

PEGASUS-D

G4.5 Deposition System

用 途:有機EL、液晶ディスプレイ、太陽電池

プロセス:水蒸気バリア、保護膜、剥離膜(レーザーリフトオフ)

膜 種:SiO2、SiN、SiOC、a-Si、DLC

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