IoT時代に最適な半導体製造装置を独自の技術で提供致します。
プロセスに応じたソリューションを提供し、お客様の求めるニーズに対応致します。

We provide semiconductor manufacturing equipment optimal for the IoT era with our original technology.
We provide solutions according to the process to meet the needs of our customers.

— Products —

PEGASUS-300

PEGASUS Platform

HDP-CVD

Mercury

RTA

Plasma-ALD

— News —

2026
TSRI(台湾半導体研究所)
HDP-CVD装置

2025
SEMICON JAPAN 2025 出展
(先端パッケージ、CVD装置)

2025
Advanced Packaging

2025
SiC Power Device
ゲート絶縁(PECVD)

2025
Chiplet
Gap Fill(PECVD)

2025
5G 通信
SAW Fillete

— Process —

低温成膜

TSV

GAP Fill

Hard Mask

水蒸気バリア膜

接合膜
— About us —