保有真空チャンバーに装着し使用する事が出来ます。

・O2プラズマ　⇒　有機物除去

・Arプラズマ　⇒　表面洗浄

・CF4プラズマ　⇒　SiO2等をダメージレスで除去

プラズマCVD、ドライエッチング装置向けのエッチングに強い

コーティングガラスです。

サイズに合わせてコート可能。　ICF付きの対応も可能。