セラミック＆CVDコーティングの高機能製品を作製致します。
| セラミック基板 ・基板：AlN、Si3N4、Al2O3、ZrO2 ・角型、丸型、円筒、孔、ザグリ |   |
| CVDコーティング品 ・Si3N4＋SiO2 ⇒ 放熱基板 ・AlN＋SiO2 ⇒ 放熱基板 ・Al2O3＋SiO2 ⇒ 平坦化基板、抵抗器 ・ガラス＋Y2O3 ⇒ 耐エッチ保護膜 ・ガラス＋a-Si ⇒ 接合基板 |  |
セラミック＆CVDコーティングの高機能製品を作製致します。
| セラミック基板 ・基板：AlN、Si3N4、Al2O3、ZrO2 ・角型、丸型、円筒、孔、ザグリ | |
| CVDコーティング品 ・Si3N4＋SiO2 ⇒ 放熱基板 ・AlN＋SiO2 ⇒ 放熱基板 ・Al2O3＋SiO2 ⇒ 平坦化基板、抵抗器 ・ガラス＋Y2O3 ⇒ 耐エッチ保護膜 ・ガラス＋a-Si ⇒ 接合基板 | |