Advanced Packaging

PEGASUSは、AI、高速通信のパッケージングに必要とされる絶縁膜の形成が可能な装置です。HDP-CVDは、カバレッジ性に優れ、TSV、ガラス、樹脂に対して低温で良質な膜を成膜する事が出来ます。

半導体、ディスプレイ、電子部品の用途で培われてきた技術で、大型サイズの基板に生産性の高い装置を提供致します。