水蒸气バリア膜 | |
光学特性
測定波長 ： 633 nm
| 膜 種 | 屈折率 | 消衰係数 |
|---|---|---|
| SiN | 2.0 | 0.0001 |
| SiON | 1.758 | 0.0000 |
| SiO2 | 1.45 | 0.0000 |
ガスバリア特性
測定方法：Mocon法（40℃×90%）
| 膜 種 | 膜 厚 | 水蒸気透過率（g／m²／d） |
|---|---|---|
| SiN | 100nm（1000nm） | 10-3 g以下（10-5 g以下） |
| SiON | 100nm（1000nm） | 10-3 g以下（10-5 g以下） |
| SiO2 | 100nm（1000nm） | 10-1 g以下（10-2 g以下） |
応力＆成膜、エッチングレート
| 膜 種 | 屈折率 | Stress | 成膜レート | エッチング（BHF:5%） |
|---|---|---|---|---|
| SiN | 〜2.1 | 〜－500MPa | 〜50nm／min | 6nm／min |
| SiON | 1.6〜1.80 | 〜－200MPa | 〜300nm／min | 30nm／min |
| SiO2 | 1.46〜 | 〜－100MPa | 〜300nm／min | 30nm／min |