Products – Mercury

Mercury（HDP-CVD）

・□800ｍｍ

・φ6inch×25枚

ItemContents
Plasma Source ICP（12.56MHz)
Stage RF Bias（13.56MHz）、Heater
Gas SiH4、O2、N2、NH3、CH4、Ar、NF3
Wafer size ～ φ300mｍ
Film deposition rate ～ 300nm/min