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Products
Mercury
（
HDP-CVD）
・□
800
ｍｍ
・
φ
6inch×25
枚
Item
Contents
Plasma Source
ICP（12.56MHz)
Stage
RF Bias（13.56MHz）、Heater
Gas
SiH
4
、O
2
、N
2
、NH
3
、CH
4
、Ar、NF
3
Wafer size
～ φ300mｍ
Film deposition rate
～ 300nm/min
