交換等に係る費用の多くは、Process Chamber内の部品であるが、PEGASUSシリーズは、Plasma Source、セラミック構造のステージも耐久性が高く交換頻度が少ない装置です。その他の消耗部品も最小限の設計により低コスト化に貢献しています。

シンプルな装置構造による低価格、交換部品とメンテナンスが少なく、再現性が高く、高スループットな装置。